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苏州纳米所研发新型超高精度激光光刻技术

发布于:2020-07-12


近日,云博士客户苏州纳米技术与纳米仿生研究所与国家纳米中心合作,研发新型超高精度激光光刻技术。合作团队开发的新型微纳加工技术在半导体加工领域的应用前景相当广阔。

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